Sächsisches Staatsministerium für Wirtschaft, Arbeit und Verkehr Postfach 1 O 03 29 1 01073 Dresden Präsidenten des Sächsischen Landtages Herrn Dr. Matthias Rößler Bernhard-von-Lindenau-Platz 1 01067 Dresden Kleine Anfrage des Abgeordneten Dr. Gerd Lippold, Fraktion BÜNDNIS 90/DIE GRÜNEN Drs.-Nr.: 6/8242 STAATSMINISTERIUM FÜR WIRTSCHAFT ARBEIT UND VERKEHR Thema: Effekte des EU-Mikroelektronikförderprogramms ECSEL in Sachsen Sehr geehrter Herr Präsident, namens und im Auftrag der Sächsischen Staatsregierung beantworte ich die Kleine Anfrage wie folgt: Frage 1: Welche Forschungsvorhaben und Pilotlinien welcher sächsischer Antragsteller mit welchen konkreten Inhalten wurden bisher in jeweils welcher Höhe über ECSEL gefördert? Aktuell werden über ECSEL insgesamt zehn Forschungs- bzw. Pilotlinienvorhaben durch den Freistaat gefördert. Im Einzelnen haben die Vorhaben jeweils folgende Zuwendungsempfänger (Antragsteller nach erfolgter Bewilligung ), Inhalte und Zuwendungshöhen: 1) Integrierte Komponenten zur Reduktion der Komplexität in kostengünstigen Elektrofahrzeugen (3Ccar) Sächsischer Zuwendungsempfänger ist die TU Dresden. Ziel des Forschungsvorhabens 3Ccar, in dem insgesamt elf deutsche Partner mit 38 europäischen Partnern zusammenarbeiten, ist eine Steigerung der Leistungsdichte, Effizienz und Zuverlässigkeit von Elektroniksystemen für Elektrofahrzeuge. Hierbei sollen die Funktionalität und der Integrationsgrad wichtiger Komponenten für die Einsatzbereiche Antrieb, Bordnetz und Energiespeicher gesteigert werden, beispielsweise durch den Einsatz neuer Halbleitermaterialien in der Leistungselektronik. Auf Systemebene wollen die Partner mit Hilfe optimierter elektrischer Netzarchitekturen und leistungsfähiger Steuergeräte gleichzeitig die Komplexität und den Entwicklungsaufwand senken. Seite 1 von 7 SSACHsEN Der Staatsminister Durchwahl Telefon: 0351 564-8001 Telefax: 0351 564-8024 Aktenzeichen (bitte bei Antwort angeben) 36-1 053/2/21 Dresden, 2 7. FEB. 2017 , ... Zertiflkat selt 2006 audlt bcrufundfamllic Hausanschrift: Sächsisches Staatsministerium für Wirtschaft, Arbeit und Verkehr Wilhelm-Buck-Straße 2 01097 Dresden Außenstellen: Hoyerswerdaer Straße 1 01099 Dresden Glacisstraße 4 01099 Dresden www.smwa.sachsen.de Verkehrsanbindung: Zu erreichen mit den Straßenbahnllnien 3, 7, 8 Haltestelle Carolaplatz Kein Zugang für elektronisch signierte sowie für verschlüsselte elektronische Dokumente. STAATSMINISTERJUM FÜR WIRTSCHAFT ARBEIT UND VERKEHR SSACHsEN Bei einem in Sachsen realisierten Projektvolumen von 742.361 €setzt sich die Förderung sächsischer Zuwendungsempfänger aus 395.233 €durch die EU, 208.277 € den Bund und 173.564 €durch den Freistaat zusammen. 2) Pilot-Fertigungslinie für Halbleiterchips mit erweiterten Funktionalitäten (ADMONT) Sächsische Zuwendungsempfänger sind : X-FAB Dresden GmbH & Co.KG, EDC Chemnitz GmbH, Smartrac GmbH, Systema Austen GmbH, Heimann Sensor GmbH, Fraunhofer Gesellschaft und Fabmatics GmbH. Ziel des Projekts ADMONT ist der Aufbau einer verteilten Pilotlinie für die Fertigung multifunktionaler Halbleiterkomponenten (More-than-Moore-Technologie). Die Prozess - und Systemintegration soll, ausgehend von einer Pilotlinie für Ultrahoch-volt- Chips, über die Sensor/Aktuator-lntegration und die Verarbeitung organischer Materialien bis hin zur 3D-lntegration auf Wafer-Ebene in einem Wertschöpfungsnetzwerk umgesetzt werden . Die Leistungsfähigkeit der Pilotlinie soll für Produkte aus den Bereichen Gesundheit , Mobilität, Energie und Sicherheit beispielhaft nachgewiesen werden. Bei einem in Sachsen realisierten Projektvolumen von 34.962.681 € setzt sich die Förderung sächsischer Zuwendungsempfänger aus 8.566.653 € durch die EU , 4.283.119 € den Bund und 4.283.119 €durch den Freistaat zusammen. 3) Pilotlinien für effiziente und kompakte Leistungselektronik (PowerBase) Sächsische Zuwendungsempfänger sind : Infineon Dresden GmbH, TU Dresden, NaMLab gGmbH, Fabmatics GmbH, Wacker Siltronic AG, Freiberger Compound Materials und die Fraunhofer Gesellschaft. Ziel des Projekts PowerBase, in dem zwölf deutsche Partner mit 26 europäischen Partnern entlang der gesamten Wertschöpfungskette zusammenarbeiten , ist der Aufbau einer Pilotlinie zur Waferprozessierung und Chipgehäusefertigung für neuartige kompakte Leistungshalbleiter. Hierzu sollen sowohl Fortschritte bei der Verarbeitung des etablierten Halbleitermaterials Silizium, als auch neue Ansätze auf Basis von Galliumnitrid (GaN) erprobt werden , das besonders effiziente Leistungselektronik ermöglicht. Ein weiteres Ziel liegt in der Steigerung des Automatisierungsgrades und damit der Leistungsfähigkeit bereits vorhandener Pilotlinien . Bei einem in Sachsen realisierten Projektvolumen von 16.499.523 € setzt sich die Förderung sächsischer Zuwendungsempfänger aus 2.724.627 € durch die EU , 1.365.442 €den Bund und 1.346.418 €durch den Freistaat zusammen. 4) Kleinste Strukturen in der Chipfertigung: Sieben-Nanometer-Technologie (SeNaTe) Sächsische Zuwendungsempfänger sind : Fabmatics GmbH, Advanced Mask Technology Center (AMTC) und die Fraunhofer Gesellschaft. Seite 2 von 7 STAATSMINISTERIUM FÜR WIRTSCHAFT ARBEIT UND VERKEHR ~SACHsEN Ziel des Pilotlinienprojekts SeNaTe, in dem 16 deutsche Partner mit 26 europäischen Partnern zusammenarbeiten, sind produktionstaugliche Prozesse, eine kontaminationsfreie Infrastruktur sowie hochgenaue Messtechnik zur Herstellung von elektronischen Schaltungen der nächsten Generation mit nur sieben Nanometer breiten Strukturen. Ein weiterer Schwerpunkt liegt auf der Entwicklung geeigneter Optiken für die lithographische Strukturierung, die erstmals mit hochenergetischem Extrem-UV-Licht durchgeführt wird . Hierzu müssen die bisher in der Lithographie genutzten Linsen durch ein komplexes Spiegelsystem ersetzt werden . Hierfür sind neuartige Optikdesigns, Substratmaterialien und Bearbeitungstechnologien erforderlich . Bei einem in Sachsen realisierten Projektvolumen von 6. 782. 777 € setzt sich die Förderung sächsischer Zuwendungsempfänger aus 1.021.624 € durch die EU, 510.871 €den Bund und 510.871 €durch den Freistaat zusammen. 5) Fertigungstechnologien für energieeffiziente und zuverlässige Elektroniksysteme (WAYTOGO FAST) Sächsische Zuwendungsempfänger sind : Globalfoundries, HSEB Dresden GmbH und die Fraunhofer Gesellschaft. Ziel des Pilotlinienprojekts WAYTOGO FAST, in dem zwölf deutsche mit 20 europäischen Partnern zusammenarbeiten, ist die Entwicklung einer Fertigungstechnologie für Chips mit nur 14 Nanometern breiten Strukturen in der FD-SOl-Technologie (Fully Depleted Silicon On lnsulator), die höchste Energieeffizienz und ultrakurze Schaltzeiten ermöglicht. Zur weiteren Leistungssteigerung dieser Technologie sollen neue Prozessschritte und -anlagen sowie innovative Schaltungskonzepte entwickelt werden . Ihre Leistungsfähigkeit soll anhand von Komponenten für konkrete Anwendungen nachgewiesen werden . Bei einem in Sachsen realisierten Projektvolumen von 5.385.471 € setzt sich die Förderung sächsischer Zuwendungsempfänger aus 1.282.542 € durch die EU , 641 .144 €den Bund und 641 .144 €durch den Freistaat zusammen. 6) Neue Fertigungstechnologien für innovative Elektroniksysteme für das Internet der Dinge (PRIME) Sächsische Zuwendungsempfänger sind : Globalfoundries, TU Dresden, IDT Europe GmbH, bubbles and beyond GmbH und die Fraunhofer Gesellschaft. Ziel des Projekts ist die Entwicklung von Fertigungstechnologien für Chips in der FD-SOl-Technologie (Fully Depleted Silicon On lnsulator). In der Zusammenarbeit mit deutschen und weiteren europäischen Unternehmen wird eine Technologieplattform entwickelt, welche zukunftsweisende Vorteile wie geringen Energieverbrauch, erhöhte Leistung und reduzierte Kosten breit nutzbar macht. FD-SOI wird so als europäische Alternative zu herkömmlichen Technologien etabliert. Bei einem in Sachsen realisierten Projektvolumen von 24.700.444 € setzt sich die Förderung sächsischer Zuwendungsempfänger aus 5.616.381 € durch die EU , 2.854.691 €den Bund und 2.762.110 €durch den Freistaat zusammen. Seite 3 von 7 STAATS MINISTERIUM FÜR WIRTSCHAFT ARBEIT UND VERKEHR SSACHsEN 7) Elektronikmodule für zukünftige Mobilfunkgenerationen (REFERENCE) Sächsische Zuwendungsempfänger sind: Globalfoundries und die TU Dresden. Ziel des europäischen Verbundprojektes REFERENCE ist es, Kompetenzen in Europa zu bündeln und eine Kooperation entlang der länderübergreifenden Wertschöpfungskette zu initiieren, um Produktionsverfahren für neuartige Hochfrequenz (HF)-Technologien für Elektronikmodule für künftige Mobilfunkgenerationen wie 4G+ oder 5G zu entwickeln. Hierfür sollen HF-Substrate erstmalig in Form von 300 mm-Wafern hergestellt werden. Der Erfolg dieser neuen Technologie soll beispielhaft an HF-Modulen für das neue Avionik-Band (4.2-4.4 GHz) in der Luftfahrt demonstriert werden. Bei einem in Sachsen realisierten Projektvolumen von 2.643.427 € setzt sich die Förderung sächsischer Zuwendungsempfänger aus 709.593 € durch die EU, 365.259 €den Bund und 338.871 €durch den Freistaat zusammen. 8) Elektroniksysteme für die intelligente Energieversorgung (EnSO) Sächsischer Zuwendungsempfänger ist die von Ardenne GmbH. Das Vorhaben EnSO soll europäische Kompetenzen bündeln, um eine neuartige Elektronik-Technologieplattform für robustere und hochminiaturisierte Energieversorgungsmodule für Elektroniksysteme zu entwickeln. Diese enthalten je eine Komponente zur Erzeugung, Speicherung und Verteilung von Energie. Darüber hinaus werden neuartige, wieder aufladbare Mikrobatterien entwickelt, die durch Energie aus der Umwelt, z. B. aus Temperaturunterschieden, nachgeladen werden können . Bei einem in Sachsen realisierten Projektvolumen von 283.710 €setzt sich die Förderung sächsischer Zuwendungsempfänger aus 53.172 € durch die EU, 26.612 € den Bund und 26.612 €durch den Freistaat zusammen. 9) Flexible Sensor-Pilotlinien für das Internet der Dinge (loSense) Sächsische Zuwendungsempfänger sind: Infineon Dresden GmbH, Dr. Födisch Umweltmesstechnik AG, IMA Dresden GmbH, TU Dresden, Xenon GmbH und die Fraunhofer Gesellschaft. Ziel des Vorhabens loSense ist der Aufbau von drei Pilotlinien für innovative Sensortechnologien an zwei Standorten in Deutschland. Dabei arbeiten acht deutsche und 25 weitere europäische Partner entlang der Wertschöpfungskette zusammen. Die Pilotlinien sollen Sensorsysteme ermöglichen, die flexibel, modular und kostengünstig sind . Gleichzeitig sollen die Entwicklungs- und Fertigungszeiten um 30 % reduziert werden. Die Leistungsfähigkeit der neuen Industrie 4.0-Pilotlinien wird an Sensorsystemen für Anwendungen wie intelligente Beleuchtung, Verkehrsmanagement und Feinstaub-Überwachung beispielhaft nachgewiesen. Bei einem in Sachsen realisierten Projektvolumen von 18.160.694 € setzt sich die Förderung sächsischer Zuwendungsempfänger aus 3.303.561 € durch die EU, 1.652.647 €den Bund und 1.622.325 €durch den Freistaat zusammen. Seite 4 von 7 STAATSMINISTERIUM FÜR WIRTSCHAFT ARBEIT UND VERKEHR ~SACHsEN 10) Mikroelektronik in Deutschland für Industrie 4.0 fit machen (Seml40) Sächsische Zuwendungsempfänger sind: Infineon Dresden GmbH, TU Dresden, Systema Austen GmbH, Fabmatics GmbH und die Hochschule Mittweida. Im Vorhaben werden Fertigungs- und Logistikprozesse im Rahmen von Industrie 4.0 in der Halbleiterherstellung ganzheitlich betrachtet. Dadurch rücken neben dem steigenden Datenaufkommen auch Sicherheitsaspekte in den Fokus, so dass Mittel gegen Cyberangriffe im Fertigungsumfeld erforscht werden. Ein weiterer Aspekt sind automatisierte Entscheidungsprozesse: Simulationen von Fertigung und Logistik verbessern die Planbarkeit, wodurch die Kosten sinken und die Produktverfügbarkeit und -qualität steigt. Für die Steuerung der Produktionsprozesse werden geeignete Elektronikkomponenten entwickelt. Das Zusammenspiel aller Kompetenzen der europäischen Partner wird in einer Pilot-Fertigungslinie demonstriert. Bei einem in Sachsen realisierten Projektvolumen von 13.043.107 € setzt sich die Förderung sächsischer Zuwendungsempfänger aus 2.100.582 € durch die EU, 1.097.042 €den Bund und 1.048.410 €durch den Freistaat zusammen. Frage 2: Wie viele und welche sächsischen Vorhaben wurden mit welchen Fördervolumina bereits bewilligt, aber bisher nicht begonnen? Alle bewilligten Vorhaben wurden bereits begonnen. Frage 3: Wie viele Vorhaben mit welchen Fördervolumina befinden sich derzeit noch im Stadium der Beantragung? Aktuell befinden sich 15 sächsische Teilvorhaben im Rahmen von sechs ECSEL- Vorhaben in der Beantragungsphase. Das vorläufige Antragsvolumen beträgt insgesamt 4, 15 Mio. €. Die Fördervolumina stehen erst mit der Bewilligung fest. Frage 4: Wie viele Vorhaben mit welchen Fördervolumina wurden bisher mit welchen Begründungen abgelehnt? Die Auswahl der Vorhaben erfolgt in folgendem Verfahren: Das Förderverfahren beginnt mit Aufrufen („calls") zur Erstellung von Projektskizzen durch ECSEL. Im Regelverfahren werden im Anschluss erfolgsversprechende Projektskizzenersteller zur Einreichung von Vollanträgen aufgefordert. Fördergegenstände und -schwerpunkte der jeweiligen Förderaufrufe sowie nationale Sonderbestimmungen werden in Arbeitsplänen definiert und veröffentlicht. Diese Anträge werden von europäischen Experten nach den drei Kriterien „Exzellenz", „Wirkung" und „Qualität und Effizienz der Umsetzung" bewertet und in einer Rangliste sortiert. Projekte, die in einer der drei Kategorien weniger als drei oder insgesamt weniger als zehn von 15 möglichen Punkten erhalten, scheiden aus dem weiteren Verfahren aus. Die verbleibenden Projekte werden dann in den jeweiligen Mitgliedstaaten auf Übereinstimmung mit den nationalen Zielvorstellungen und auf deren Finanzierbarkeit überprüft . Im Anschluss wird die europäische Rangliste im „Rat der öffentlichen Körperschaften" verhandelt, in dem die EU-KOM und die Teilnehmerstaaten vertreten sind. Die Teilnehmerstaaten können die Rangliste in gewissem Umfang ändern, wobei Seite 5 von 7 STAATS MINISTERIUM FÜR WIRTSCHAFT ARBEIT UND VERKEHR ~SACHsEN ihr Stimmgewicht von der Höhe des nationalen Beitrags zum Förderaufruf sowie des nationalen Anteils an den Projektkosten abhängt. Der Freistaat stimmt sich hierzu eng mit dem Bund ab. Letztendlich können die Teilnehmerstaaten trotz europäischer Auswahl im Einzelfall von einer nationalen Förderung absehen. Von 56 Vorhaben mit sächsischer Beteiligung wurden 40 nicht zur Förderung ausgewählt (Zeitraum 2014 bis 2016). Es wurden Projekte abgelehnt, welche die europäischen Sehwellwerte in einem oder mehreren der oben genannten drei Kriterien unterschreiten. Dies betraf fünf der 56 Vorhaben mit sächsischer Beteiligung. Ein Vorhaben mit sächsischer Beteiligung wurde wegen doppelter Antragstellung aus dem Verfahren ausgeschlossen. Die Nicht-Auswahl zur Förderung auf Grund der Platzierung auf der Rangliste in Verbindung mit der Überschreitung des europäischen Budgets betraf 32 der 56 Vorhaben mit sächsischer Beteiligung (davon gelangten drei auf die Reserve-Liste, wurden aber letztendlich nicht gefördert). Die Nicht-Auswahl zur Förderung durch das BMBF betraf zwei der 56 Vorhaben mit sächsischer Beteiligung. Dieser Entscheidung schloss sich das SMWA, auch als Ergebnis der Platzierung dieser Vorhaben im sächsischen Auswahlprozess, an. Auf dieser Grundlage wurden alle weiteren zur europäischen und nationalen Förderung ausgewählten Vorhaben mit sächsischer Beteiligung unter Berücksichtigung der Entscheidung des sächsischen Auswahlgremiums zur sächsischen Förderung ausgewählt. Dies betrifft 16 Vorhaben (siehe auch Antworten zu den Fragen 1 und 3). Eine seriöse Angabe zu Fördervolumina nicht ausgewählter Vorhaben kann auf Grund der zur Skizzenerstellung bzw. Antragstellung nicht hinreichend belastbaren Angaben einzelner Antragsteller und des der Auswahl nachgelagerten Verhandlungsverfahrens der KOM nicht gegeben werden. Begründungen für die Punktevergabe zu den Kriterien „Exzellenz", „Wirkung" und „Qualität und Effizienz der Umsetzung" werden den Antragstellern durch das ECSEL- Büro mitgeteilt. Frage 5: Wie gedenkt die Staatsregierung, sächsische Unternehmen bei der Beantragung von Fördermitteln aus ECSEL künftig verstärkt zu unterstützen ? In den ersten Jahren der Fördermaßnahme ECSEL lag der Fokus der Unterstützung auf der Vorstellung des Förderinstrumentes und den Möglichkeiten, die es besonders für sächsische Teilnehmer bietet. Dies geschah im Rahmen von Informationsveranstaltungen in Sachsen und durch sächsische Vertreter auf nationalen Informations- und Branchenveranstaltungen. Darüber hinaus wurden Beratungsmöglichkeiten des zuständigen Fachreferats des SMWA sowie des zuständigen Projektträgers angeboten und wahrgenommen. Seite 6 von 7 STAATSMINISTERIUM FÜR WIRTSCHAFT ARBEIT UND VERKEHR ~SACHsEN In Zukunft wird sich die Unterstützung auf ein begleitendes Informationsangebot im Rahmen des Internetauftritts des SMWA und individuellen, persönlichen Beratungen von Interessenten durch den zuständigen Projektträger fokussieren. Die Präsenz von Ansprechpartnern zu spezifischen Fragen sächsischer Interessenten bzw. Antragsteller auf nationalen und regionalen Veranstaltungen zur Thematik ist durch den Projektträger und das zuständige Fachreferat des SMWA gewährleistet. Seite 7 von 7 2017-02-27T13:07:25+0100 GRP: Elektronisches Dokumentations- und Archivsystem Erstellung des Nachweisdokumentes